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主動式氣動懸掛系統MAPS系列

Name: 主動式氣動懸掛系統MAPS系列
Rating: 4.7 (90 reviews)

主動式氣動懸掛系統MAPS系列
MAPS可以消除無源系統無法消除的頻帶寬度的振動。
單元式主動隔振器

業務領域
對於半導體

品牌： MEIRITZ明立
品名：主動隔振
產地：日本

產品參數

品牌： MEIRITZ明立
品名：主動隔振
產地：日本

產品詳情

主動式氣動懸掛系統MAPS系列

MAPS可以消除無源系統無法消除的頻帶寬度的振動。

單元式主動隔振器

業務領域

對於半導體

特征：

盡管MAPS具有緊湊的尺寸，但它可以隔離六個自由度的振動

Meiritz提供的MAPS系列的每個單元都有兩個氣壓執行器：一個用於垂直，另一個用於水平。

使用MAPS，您可以體驗出色的隔振，抑製振動和精確定位的性能。

MAPS可以消除無源系統無法消除的頻帶寬度的振動。

由於固有頻率引起的諧振經常會在無源隔離系統中引起麻煩。共振使振動的幅度增加三倍或更多。但是可以通過使用MAPS消除共振。在此頻率範圍內可以獲得出色的隔離性能。例如，與大多數無源隔離系統相比，可以將典型無源隔離系統諧振附近的2Hz振動消除到小於1 / 30-1 / 100。

可以通過標準類型的MAPS將10噸或以上的設備與振動隔離開

最近的精密機器顯示出由於功能實現而變得更大的趨勢。有些設備的總重量已經超過10噸。由於裝置的擴大，難以保持裝置的結構固有頻率高。這是為什麼需要在低頻下具有優異性能的主動隔振系統的原因之一。

即使攜帶可以在舞台上工作的設備，也可以保持穩定。

例如，如果某個設備具有通過XY位移台進行的某些移動，則該設備會以較大的幅度擺動，並且

在無源隔離系統（如空氣固定架或橡膠固定架）上的振動會增大。可以在主動隔振

器上減小擺幅，因為它受到反饋控製，以保持位置穩定。並且，如果可以將台架的運動預先輸出為電信號，則可以得到幾乎不擺動的環境，因為可以對MAPS進行前饋控製，使得擺動可以變得最小。

MAPS在精確定位和精確水平方面非常出色。

當設備的尺寸變大時，傾斜也會引起麻煩。由於其笨重，它在傾斜時會傾斜和下垂，並且精度會受到顯著影響。MAPS使傾角變小，並且可以保持精度處於良好狀態。例如，MAPS使晶圓或LCD面板的順利交付成為可能。

所有類型的MAPS都易於安裝。

我們聽取客戶的要求，並把所有必要的功能擠在MAPS系列中。安裝MAPS隻需很小的空間，並且您可以得到不受振動影響的環境。由於MAPS系列的控製系統非常穩定，因此我們不僅可以作為工廠的設備，而且可以作為待售產品的附件來自信地處理MAPS系列。

MAPS是組成精密設備的重要部分之一。

似乎有很多客戶僅從焦慮到振動都使用隔振裝置。當當今進行高精度，高性能和大型化時，必須具有不受振動影響的環境，才能顯示出規格表中所述器件的全部性能。隔振裝置是構成精密機械系統而不是輔助裝置必不可少的部件之一。

開始開發時與我們聯系。

MAPS系列具有隔振，定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安裝空間。即使在完成設備開發之後，

MAPS仍可以組裝到設備中。但是，在這種情況下，經常會出現各種限製。從隔振性能和成本角度來看，這都不是一個好方法。當開始開發新設備時，我們想聽聽您對設備的想法，並希望就MAPS的安裝空間，隔振性能和定位精度進行必要的安排。通過采用我們建議的這種方式，可以將您的振動環境吸引到理想狀態。

仕様

主な仕様

項目／形式		MAPS-008	MAPS-016	MAPS-033	MAPS-065	MAPS-130	MAPS-240
搭載可能質量[kgf] (4ユニット使用時)		400～800	800～1600	1600 ～3300	3300 ～6500	6500 ～13000	13000 ～24000
機體寸法 W×D×H[mm]		235×235×130	296×296×140	350×350×150	450×450×190	600×480×190	710×600×190
トッププレート／ベースプレート取付穴數量－穴徑C[mm]		4－Φ10	4－Φ10	4－Φ14	4－Φ16	6－Φ16	6－Φ16
トッププレート／ベースプレート取付穴ピッチ	A1[mm]	218	276	320	420	-	-
	A2[mm]	-	-	-	-	100	250
	A3[mm]	-	-	-	-	460	420
	A4[mm]	-	-	-	-	25	20
	B[mm]	218	276	320	420	430	230
１ユニットあたりの機體質量 [kg]		13	42	63	110	180	230
供給空気圧 [MPa]		0.6～0.8(クリーンエアー)
定常空気消費量 [\|/min]		45～65			120～170
***空気消費量 [\|/min]		120			300
電源電圧［V]		100～240 (AC単相,50/60 Hz)
***消費電力 [VA]		180
周囲溫度 [゜c]		0～40
周囲濕度 [%RH]		35～85 (結露しないこと）
ばね上構造體固有振動數 [Hz]		200以上(推奨値)
除振・製振方式		空気圧製禦による振動製禦
レベル維持方式		空気圧製禦による位置製禦
除振性能		振動伝達率參照
製禦軸數		≦6