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主动式气动悬挂系统MRZ系列

主动式气动悬挂系统
基于MAPS系列,我们开发了高性能,合理的主动式气动悬架系统MRZ系列!

  • 品牌: MEIRITZ明立
  • 产地: 日本
  • 品名: 主动式气动悬挂系统MRZ系列

  • 产品参数
  • 品牌: MEIRITZ明立
  • 产地: 日本
  • 品名: 主动式气动悬挂系统MRZ系列

主动式气动悬挂系统MRZ系列

主动式气动悬挂系统

基于MAPS系列,我们开发了高性能,合理的主动式气动悬架系统MRZ系列!

业务领域

用于测量

对于半导体

特征

应用领域

FPD ・半导体医师设备,电子显微镜,UHV-SPM,量测机,超精密切割机等

六个自由度的主动隔振

每个单元都有两个气压执行器:垂直和水平,并具有出色的隔振,抑制振动和精确定位的性能。

FB + FloorFF控制

FB:反馈

FloorFF:地板前馈

StageFF:舞台前馈(选件)

「轻巧紧凑」「节省电力」「合理价格」!

实现轻巧紧凑,省电,价格合理。

专利

日本专利第5457821号



  • 规格

类型MRZ-200MRZ-330MRZ-520
每4个单位的有效载荷范围[kg]1,500〜4,4004,000〜12,80010,000〜32,000
单位尺寸W×D×H [mm]324x252x191504x404x191694x594x191
单位质量[kg /单位]3460110
供给气压[MPa]0.6〜0.8(清洁干燥空气)
典型耗气量[l / min]45〜65120〜170
***耗气量[l / min]120300
 电源电压[V]100〜240(单相AC,50 / 60Hz)
***功耗[VA]120
环境温度[℃]0〜40
相对湿度[%RH]35〜85
隔振方法气压控制隔振
控制器尺寸[mm]W435xD300xH118
控制器质量[kg]7.5


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