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主动式气动悬挂系统MAPS系列

主动式气动悬挂系统MAPS系列
MAPS可以消除无源系统无法消除的频带宽度的振动。
单元式主动隔振器

业务领域
对于半导体

  • 品牌: MEIRITZ明立
  • 产地: 日本
  • 品名: 主动隔振

  • 产品参数
  • 品牌: MEIRITZ明立
  • 产地: 日本
  • 品名: 主动隔振

主动式气动悬挂系统MAPS系列

MAPS可以消除无源系统无法消除的频带宽度的振动。

单元式主动隔振


业务领域

对于半导体



特征:

尽管MAPS具有紧凑的尺寸,但它可以隔离六个自由度的振动

Meiritz提供的MAPS系列的每个单元都有两个气压执行器:一个用于垂直,另一个用于水平。

 使用MAPS,您可以体验出色的隔振,抑制振动和精确定位的性能。

MAPS可以消除无源系统无法消除的频带宽度的振动。

由于固有频率引起的谐振经常会在无源隔离系统中引起麻烦。共振使振动的幅度增加三倍或更多。但是可以通过使用MAPS消除共振。在此频率范围内可以获得出色的隔离性能。例如,与大多数无源隔离系统相比,可以将典型无源隔离系统谐振附近的2Hz振动消除到小于1 / 30-1 / 100。

可以通过标准类型的MAPS将10吨或以上的设备与振动隔离开

最近的精密机器显示出由于功能实现而变得更大的趋势。有些设备的总重量已经超过10吨。由于装置的扩大,难以保持装置的结构固有频率高。这是为什么需要在低频下具有优异性能的主动隔振系统的原因之一。

即使携带可以在舞台上工作的设备,也可以保持稳定。

例如,如果某个设备具有通过XY位移台进行的某些移动,则该设备会以较大的幅度摆动,并且

 在无源隔离系统(如空气固定架或橡胶固定架)上的振动会增大。可以在主动隔振

 器上减小摆幅,因为它受到反馈控制,以保持位置稳定。并且,如果可以将台架的运动预先输出为电信号,则可以得到几乎不摆动的环境,因为可以对MAPS进行前馈控制,使得摆动可以变得最小。

MAPS在精确定位和精确水平方面非常出色。

当设备的尺寸变大时,倾斜也会引起麻烦。由于其笨重,它在倾斜时会倾斜和下垂,并且精度会受到显着影响。MAPS使倾角变小,并且可以保持精度处于良好状态。例如,MAPS使晶圆或LCD面板的顺利交付成为可能。


所有类型的MAPS都易于安装。

我们听取客户的要求,并把所有必要的功能挤在MAPS系列中。安装MAPS只需很小的空间,并且您可以得到不受振动影响的环境。由于MAPS系列的控制系统非常稳定,因此我们不仅可以作为工厂的设备,而且可以作为待售产品的附件来自信地处理MAPS系列。

MAPS是组成精密设备的重要部分之一。

似乎有很多客户仅从焦虑到振动都使用隔振装置。当当今进行高精度,高性能和大型化时,必须具有不受振动影响的环境,才能显示出规格表中所述器件的全部性能。隔振装置是构成精密机械系统而不是辅助装置必不可少的部件之一。

开始开发时与我们联系。

MAPS系列具有隔振,定位和校平所需的所有功能。而且不需要很大的安装空间。即使在完成设备开发之后,

 MAPS仍可以组装到设备中。但是,在这种情况下,经常会出现各种限制。从隔振性能和成本角度来看,这都不是一个好方法。当开始开发新设备时,我们想听听您对设备的想法,并希望就MAPS的安装空间,隔振性能和定位精度进行必要的安排。通过采用我们建议的这种方式,可以将您的振动环境吸引到理想状态。


仕様

  • 主な仕様
項目/形式MAPS-008MAPS-016MAPS-033MAPS-065MAPS-130MAPS-240
搭載可能質量[kgf]
(4ユニット使用時)
400~800800~16001600
~3300
3300
~6500
6500
~13000
13000
~24000
機体寸法 W×D×H[mm]235×235×130296×296×140350×350×150450×450×190600×480×190710×600×190
トッププレート/ベースプレート
取付穴数量 - 穴径C[mm]
4-Φ104-Φ104-Φ144-Φ166-Φ166-Φ16
トッププレート/
ベースプレート
取付穴ピッチ
A1[mm]218276320420--
A2[mm]----100250
A3[mm]----460420
A4[mm]----2520
B[mm]218276320420430230
1ユニットあたりの
機体質量 [kg]
134263110180230
供給空気圧 [MPa]0.6~0.8(クリーンエアー)
定常空気消費量 [|/min]45~65120~170
最大空気消費量 [|/min]120300
電源電圧[V]100~240 (AC単相,50/60 Hz)
最大消費電力 [VA]180
周囲温度 [゜c]0~40
周囲湿度 [%RH]35~85 (結露しないこと)
ばね上構造体固有振動数 [Hz]200以上(推奨値)
除振・制振方式空気圧制御による振動制御
レベル維持方式空気圧制御による位置制御
除振性能振動伝達率参照
制御軸数≦6

設置場所の環境、搭載物の特性、制御方法、などによって除振性能、位置決め精度は変わることがあります。この表以外の型式・仕様についても製作可能です。お問い合わせください。


主动式气动悬挂系统MAPS系列
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