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EDWARDS,英國EDWARDS愛德華真空泵

Edwards是***的開發商和生產商，提供精密的真空泵系統產品、減排解決方案和相關的增值服務。

我們的產品是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的製造過程中不可缺少的部分，應用於日益多範圍化的工業過程，包括電力、玻璃和其他塗層應用、鋼和其他冶金、製藥和化學；適用於科學儀器和許多研發應用。

Edwards 在全球大約 30 個***/地區擁有 4200 多名員工，從事高科技真空和廢氣管理設備的設計、製造和支持工作。我們擁有 94 年服務於超過 60 億美元市場的豐富曆史。

將***性能融入到我們***的製造設施之一：

EDWARDS愛德華茲是真空和減排的全球***。我們很自豪能夠引領行業，推動科學界限，提供日常生活中固有的創新產品，與客戶合作並不斷設定新標準。

憑借100多年的豐富經驗，Edwards成為全球數萬名關鍵應用客戶的***合作夥伴。從發電到鋼鐵生產，到空間模擬和高能物理研究的挑戰性環境，各個領域都需要真空。無論你在哪裏找到真空要求，你都會發現Edwards一路***。

從藥品到手機，從電腦到咖啡豆，再到汽車和化學品，我們為能夠改變人們的生活而感到自豪。我們負責任地做到這一點，確保我們可持續地進行創新，同時幫助我們的客戶保持競爭優勢和卓越運營。

Edwards是阿特拉斯·科普柯集團（納斯達克OMX斯德哥爾摩：ATCO A，ATCO B）的一部分，該集團是瑞典的工業生產力解決方案提供商。

英國EDWARDS愛德華產品：真空泵,幹式渦旋泵,隔膜泵,風冷單相幹泵,幹式螺杆真空泵,化學幹式真空泵,半導體幹式泵,渦輪分子泵,超高真空泵,擴散泵,旋片泵,機械增壓泵,液環真空泵

CXS 化學幹式真空泵

從乙酸鹽到二甲苯（以及介於兩者之間的任何物質），Edwards CXS 化學幹泵均可以幫助您提高性能——利用已在全球安裝的數千個化學真空系統中所開發的***智能和壓縮技術。創新的螺杆技術，優化真空性能 CXS 錐形螺杆技術為您帶來更高的熱穩定性，並在所有入口壓力下優化了真空性能。其另一個優勢是無腐蝕運行和強大的液體和固體處理性能，適用於更嚴苛的化學製程。通過 ATEX 認證/防爆認證 CXS 通過了 ATEX 認證，結構安全且密封性好，可用於泵送 IIB / IIB3 組氣體。該泵通過獨立權威機構的

CDX 化學幹式真空泵

我們的CDX 真空泵采用創新的雙頭螺杆機構，抽送容積為 900 m3h-1（每小時）—— 非常適合重複性和可靠性至關重要的大型製程。高處理能力製程在關鍵應用中，您需要一台可靠的真空泵。CDX 真空泵是一款堅固耐用的高性能設備，能夠高度耐受製程故障，提供值得信賴的連續性能（從大氣壓到極限真空）。專為嚴苛環境和製程而設計 Edwards 的標準間接冷卻功能可確保了出色的溫度控製，包括防止熱衝擊和腐蝕。該泵具有出色的液體處理能力，並且耐受灰塵和顆粒，這使其成為眾多化工、製藥和石化應用的***。特定應

EDP 化學幹式真空泵

EDP 化學幹泵是市場***的產品，非常適合化學、石化和製藥行業的複雜需求。即使在最惡劣的製程環境中，創新技術也能帶來性能和運行方面的優勢。專為安全性和可靠性而設計 EDP 專為嚴苛的化學操作而設計，經過獨立權威機構動態爆炸測試和認證。可進行更多檢查，包括***可達 10-3 mbar l/s 的泄漏檢查和 22 - 75 barg 的型式壓力測試 —— 即使在最惡劣的環境中，該泵也值得信賴。適用於化學應用行業的理想真空產品 EDP 真空泵采用溫度控製，可優化運行條件——熱運行用於腐蝕性應用，冷運行用

EDS 幹式螺杆真空泵

EDS 系列提供風冷和水冷型號，在嚴苛的工業和化學條件下具有首屈一指的汙染物處理能力。時尚簡單、易於維修、抽速高，這些特性使 EDS 系列成為嚴苛的工業和化學應用的理想解決方案。滿足現代製程所需的超常性能高抽速可在需要時提供更高的處理能力。抽空時間更短、粗抽速度更高，可以更快地完成工作，且正常運行時間無可匹敵。創新和堅固的螺杆設計即插即用系統和錐形變螺距幹式螺杆為螺杆泵市場創立了新的基準。這是一項複雜的工程技術，對微粒具有很高的耐受性。靈活、安全 EDS 系列可在危險環境中安全使用，並且

半導體幹泵

通過增加正常運行時間、減少對環境的影響以及良好的成本效益，iXM 低能耗幹泵可為您的關鍵應用帶來真正的製程改進。高效的根源機製可將輸入功率減少多達 60％，從而減少對環境的影響並降低總體使用成本氣體阻隔技術和隔熱設計方面的改進使產品的抗腐蝕性比我們之前的系列提高了四倍先進的粉塵處理功能可為多層蝕刻工藝提供更高的可靠性，延長真空泵使用壽命，並降低 CVD 工藝的功耗緊湊輕巧的設計，加上極低的噪聲和振動，可提供更多的用途采用 Xcede 技術，增強了耐腐蝕性。

nEXT 機械渦輪分子泵

nEXT 渦輪分子泵建立在數十年的經驗之上，並且借鑒了我們久經考驗和值得信賴的 EXT 和 STP 系列產品。nEXT 泵具有卓越的性能、可靠性和最終用戶可維護性，為科學用渦輪分子泵設定了基準。 nEXT 系列出色的性能 Edwards nEXT240 渦輪分子泵Zoom in nEXT 旨在結合渦輪分子泵的所有***技術進展，使最終用戶可維護並提供真正的***產品。提供的泵規格可真正實現每秒 85、240、300、400 升的泵速性能，nEXT 系列 (N2) 現已增加每秒 700 和 900 升的泵速性

STP 磁懸浮渦輪分子泵

低振動，零維護如果您需要穩定、可靠的性能以及零維護，我們的 STP 磁懸浮渦輪分子泵系列為您樹立了標準。轉子完全由磁懸浮軸承懸起 —— 非常適合要求運行時間長、無烴式真空、維護少且振動低的應用。 Advanced 高處理能力系列 Advanced 系列可提供高水平的處理能力，非常適合您的半導體蝕刻和 CVD 製程：占地面積小處理速度從 300 l/s 至 4500 l/s 處理能力高達 6 slm，並提高了 H2、N2 和 Ar 性能。

離子泵

離子泵，也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽極/陰極陣列來電離氣體的捕集泵。離子濺射反應性陰極材料，產生化學反應，將電離氣體轉化為固體化合物。這些化合物不再對真空系統的壓力產生影響，並被***地封存在離子泵內。離子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的範圍內運行，氮氣抽取速度範圍為 0.2 至 1,200 l/s。

鈦升華泵

鈦升華泵 TSP 通過加熱鈦絲並將鈦分子升華（從固相轉變為氣相）到表面來運作。然後，升華的鈦分子可與氧氣和氮氣等反應氣體發生化學反應，並分解和擴散氫氣。TSP可在 10-5 至 10-12 mbar 的範圍內運行，氫氣抽取速度超過 10,000 l/s 。

非蒸發型吸氣泵

非蒸發型吸氣泵 NEG 系列是活性金屬，已被壓在固體基材上或燒結成圓盤。已發現鋯、釩和鐵的特定組合在 HV 和 UHV 環境中應用效果***。材料的使用量控製著 NEG 泵的速度和容量，而其速度通常為 55 至 412 l/s ，容量通常為 630 至 3600 Torr l/s。由於 NEG 吸收氣體至飽和，它們可以在不向大氣排放的情況下被重新激活。

擴散泵

nHT 系列具有出色的真空性能。該系列泵設計用於***限度地將熱量傳遞至油中，從而使加熱時間更快，並顯著降低能耗。性能穩定性優化的抽取速度和穩定的高處理能力是鍍膜、冶金、熱處理和研發等關鍵應用的理想選擇。性能可靠，提高生產力智能溫度控製和板載傳感器確保負載最小，使加熱器和油的使用壽命更長。非磨損部件和易更換加熱器濾芯確保維修和維護服務的時間間隔更長。能效控製器能效控製器使設備易於使用且操作方便，並可通過 USB 和以太網接口對設備進行有效監控。創新的加熱設計可縮短預熱時間，節省高達 30%

EOSi 旋轉螺杆真空泵

如果您的企業正在為工業應用尋求具多功能性和靈活性的解決方案，那麼 EOSi 應該是您的***。憑借變速傳動 (VSD+)、卓越的隨需應變性能及優化的能耗，您每天都能從該真空泵的核心創新技術中獲益。使用簡便，易於維護創新的熱冷分離設計將導緻發熱關鍵部件及其溫度與泵的其餘部分隔離開來。這不但延長了電子元器件的使用壽命，還可使您得到更長的維護周期。 ***進的真空泵監控系統 Airlogic® 監控系統可幫助您獲取真空泵日常管理的信息更新，包括警報、安全關閉和維護。創新的電機設計 ***進的螺杆技術和內置

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