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SIMCO-ION 5635(M)

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SIMCO-ION 5635(M)
5635型AeroBar MP电离棒是专门设计用于o消除了需要快速放电时间,低摆幅电压和精密平衡的半导体及其他超清洁制造工艺中的静电荷。它利用MP技术,将高频正弦波与调制脉冲(MP)相结合,以实现高离子输出和输送。这项突破性的技术可将AeroBar安装在晶片的150毫米范围内。MP技术与超净硅发射极点和精确度调整相结合,可提供ISO 14644-12电离(0.01毫米颗粒或纳米颗粒)和ISO 14644-1 1级(0.1毫米颗粒)清洁度,这对于较小的技术节点至关重要。对

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  • 品牌: SIMCO-ION
  • 产地: 美国
  • 品名: 电离棒

  • 产品参数
  • 品牌: SIMCO-ION
  • 产地: 美国
  • 品名: 电离棒

SIMCO-ION 5635(M)

5635型AeroBar MP电离棒是专门设计用于o消除了需要快速放电时间,低摆幅电压和精密平衡的半导体及其他超清洁制造工艺中的静电荷。它利用MP技术,将高频正弦波与调制脉冲(MP)相结合,以实现高离子输出和输送。这项突破性的技术可将AeroBar安装在晶片的150毫米范围内。MP技术与超净硅发射极点和精确度调整相结合,可提供ISO 14644-12电离(0.01毫米颗粒或纳米颗粒)和ISO 14644-1 1级(0.1毫米颗粒)清洁度,这对于较小的技术节点至关重要。对于不需要极高清洁度的过程,可选的空气辅助装置可加快离子输送速度,在更长距离内提供更快的放电时间和更高的性能。MP技术易于调整,并具有微调电压,频率和平衡的能力,以满足不同的环境和产品灵敏度要求。5635 AeroBar的发射器间距为50 mm,长度≤600 mm,以实现最密集,均匀的电离覆盖。


SIMCO-ION 5635(M)
SIMCO-ION 5635(M)
5635型AeroBar MP电离棒是专门设计用于o消除了需要快速放电时间,低摆幅电压和精密平衡的半导体及其他超清洁制造工艺中的静电荷。它利用MP技术,将高频正弦波与调制脉冲(MP)相结合,以实现高离子输出和输送。这项突破性的技术可将AeroBar安装在晶片的150毫米范围内。MP技术与超净硅发射极点和精确度调整相结合,可提供ISO 14644-12电离(0.01毫米颗粒或纳米颗粒)和ISO 14644-1 1级(0.1毫米颗粒)清洁度,这对于较小的技术节点至关重要。对
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