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EDWARDS,英国EDWARDS爱德华真空泵

Edwards是***的开发商和生产商，提供精密的真空泵系统产品、减排解决方案和相关的增值服务。

我们的产品是半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池的制造过程中不可缺少的部分，应用于日益多范围化的工业过程，包括电力、玻璃和其他涂层应用、钢和其他冶金、制药和化学；适用于科学仪器和许多研发应用。

Edwards 在全球大约 30 个***/地区拥有 4200 多名员工，从事高科技真空和废气管理设备的设计、制造和支持工作。我们拥有 94 年服务于超过 60 亿美元市场的丰富历史。

将***性能融入到我们***的制造设施之一：

EDWARDS爱德华兹是真空和减排的全球***。我们很自豪能够引领行业，推动科学界限，提供日常生活中固有的创新产品，与客户合作并不断设定新标准。

凭借100多年的丰富经验，Edwards成为全球数万名关键应用客户的***合作伙伴。从发电到钢铁生产，到空间模拟和高能物理研究的挑战性环境，各个领域都需要真空。无论你在哪里找到真空要求，你都会发现Edwards一路***。

从药品到手机，从电脑到咖啡豆，再到汽车和化学品，我们为能够改变人们的生活而感到自豪。我们负责任地做到这一点，确保我们可持续地进行创新，同时帮助我们的客户保持竞争优势和卓越运营。

Edwards是阿特拉斯·科普柯集团（纳斯达克OMX斯德哥尔摩：ATCO A，ATCO B）的一部分，该集团是瑞典的工业生产力解决方案提供商。

英国EDWARDS爱德华产品：真空泵,干式涡旋泵,隔膜泵,风冷单相干泵,干式螺杆真空泵,化学干式真空泵,半导体干式泵,涡轮分子泵,超高真空泵,扩散泵,旋片泵,机械增压泵,液环真空泵

CXS 化学干式真空泵

从乙酸盐到二甲苯（以及介于两者之间的任何物质），Edwards CXS 化学干泵均可以帮助您提高性能——利用已在全球安装的数千个化学真空系统中所开发的***智能和压缩技术。创新的螺杆技术，优化真空性能 CXS 锥形螺杆技术为您带来更高的热稳定性，并在所有入口压力下优化了真空性能。其另一个优势是无腐蚀运行和强大的液体和固体处理性能，适用于更严苛的化学制程。通过 ATEX 认证/防爆认证 CXS 通过了 ATEX 认证，结构安全且密封性好，可用于泵送 IIB / IIB3 组气体。该泵通过独立权威机构的

CDX 化学干式真空泵

我们的CDX 真空泵采用创新的双头螺杆机构，抽送容积为 900 m3h-1（每小时）—— 非常适合重复性和可靠性至关重要的大型制程。高处理能力制程在关键应用中，您需要一台可靠的真空泵。CDX 真空泵是一款坚固耐用的高性能设备，能够高度耐受制程故障，提供值得信赖的连续性能（从大气压到极限真空）。专为严苛环境和制程而设计 Edwards 的标准间接冷却功能可确保了出色的温度控制，包括防止热冲击和腐蚀。该泵具有出色的液体处理能力，并且耐受灰尘和颗粒，这使其成为众多化工、制药和石化应用的***。特定应

EDP 化学干式真空泵

EDP 化学干泵是市场***的产品，非常适合化学、石化和制药行业的复杂需求。即使在最恶劣的制程环境中，创新技术也能带来性能和运行方面的优势。专为安全性和可靠性而设计 EDP 专为严苛的化学操作而设计，经过独立权威机构动态爆炸测试和认证。可进行更多检查，包括***可达 10-3 mbar l/s 的泄漏检查和 22 - 75 barg 的型式压力测试 —— 即使在最恶劣的环境中，该泵也值得信赖。适用于化学应用行业的理想真空产品 EDP 真空泵采用温度控制，可优化运行条件——热运行用于腐蚀性应用，冷运行用

EDS 干式螺杆真空泵

EDS 系列提供风冷和水冷型号，在严苛的工业和化学条件下具有首屈一指的污染物处理能力。时尚简单、易于维修、抽速高，这些特性使 EDS 系列成为严苛的工业和化学应用的理想解决方案。满足现代制程所需的超常性能高抽速可在需要时提供更高的处理能力。抽空时间更短、粗抽速度更高，可以更快地完成工作，且正常运行时间无可匹敌。创新和坚固的螺杆设计即插即用系统和锥形变螺距干式螺杆为螺杆泵市场创立了新的基准。这是一项复杂的工程技术，对微粒具有很高的耐受性。灵活、安全 EDS 系列可在危险环境中安全使用，并且

半导体干泵

通过增加正常运行时间、减少对环境的影响以及良好的成本效益，iXM 低能耗干泵可为您的关键应用带来真正的制程改进。高效的根源机制可将输入功率减少多达 60％，从而减少对环境的影响并降低总体使用成本气体阻隔技术和隔热设计方面的改进使产品的抗腐蚀性比我们之前的系列提高了四倍先进的粉尘处理功能可为多层蚀刻工艺提供更高的可靠性，延长真空泵使用寿命，并降低 CVD 工艺的功耗紧凑轻巧的设计，加上极低的噪声和振动，可提供更多的用途采用 Xcede 技术，增强了耐腐蚀性。

nEXT 机械涡轮分子泵

nEXT 涡轮分子泵建立在数十年的经验之上，并且借鉴了我们久经考验和值得信赖的 EXT 和 STP 系列产品。nEXT 泵具有卓越的性能、可靠性和最终用户可维护性，为科学用涡轮分子泵设定了基准。 nEXT 系列出色的性能 Edwards nEXT240 涡轮分子泵Zoom in nEXT 旨在结合涡轮分子泵的所有***进展，使最终用户可维护并提供真正的***产品。提供的泵规格可真正实现每秒 85、240、300、400 升的泵速性能，nEXT 系列 (N2) 现已增加每秒 700 和 900 升的泵速性

STP 磁悬浮涡轮分子泵

低振动，零维护如果您需要稳定、可靠的性能以及零维护，我们的 STP 磁悬浮涡轮分子泵系列为您树立了标准。转子完全由磁悬浮轴承悬起 —— 非常适合要求运行时间长、无烃式真空、维护少且振动低的应用。 Advanced 高处理能力系列 Advanced 系列可提供高水平的处理能力，非常适合您的半导体蚀刻和 CVD 制程：占地面积小处理速度从 300 l/s 至 4500 l/s 处理能力高达 6 slm，并提高了 H2、N2 和 Ar 性能。

离子泵

离子泵，也称为溅射离子泵或离子吸气泵，是使用阳极/阴极阵列来电离气体的捕集泵。离子溅射反应性阴极材料，产生化学反应，将电离气体转化为固体化合物。这些化合物不再对真空系统的压力产生影响，并被***地封存在离子泵内。离子泵可以在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行，氮气抽取速度范围为 0.2 至 1,200 l/s。

钛升华泵

钛升华泵 TSP 通过加热钛丝并将钛分子升华（从固相转变为气相）到表面来运作。然后，升华的钛分子可与氧气和氮气等反应气体发生化学反应，并分解和扩散氢气。TSP可在 10-5 至 10-12 mbar 的范围内运行，氢气抽取速度超过 10,000 l/s 。

非蒸发型吸气泵

非蒸发型吸气泵 NEG 系列是活性金属，已被压在固体基材上或烧结成圆盘。已发现锆、钒和铁的特定组合在 HV 和 UHV 环境中应用效果***。材料的使用量控制着 NEG 泵的速度和容量，而其速度通常为 55 至 412 l/s ，容量通常为 630 至 3600 Torr l/s。由于 NEG 吸收气体至饱和，它们可以在不向大气排放的情况下被重新激活。

扩散泵

nHT 系列具有出色的真空性能。该系列泵设计用于***限度地将热量传递至油中，从而使加热时间更快，并显著降低能耗。性能稳定性优化的抽取速度和稳定的高处理能力是镀膜、冶金、热处理和研发等关键应用的理想选择。性能可靠，提高生产力智能温度控制和板载传感器确保负载最小，使加热器和油的使用寿命更长。非磨损部件和易更换加热器滤芯确保维修和维护服务的时间间隔更长。能效控制器能效控制器使设备易于使用且操作方便，并可通过 USB 和以太网接口对设备进行有效监控。创新的加热设计可缩短预热时间，节省高达 30%

EOSi 旋转螺杆真空泵

如果您的企业正在为工业应用寻求具多功能性和灵活性的解决方案，那么 EOSi 应该是您的***。凭借变速传动 (VSD+)、卓越的随需应变性能及优化的能耗，您每天都能从该真空泵的核心创新技术中获益。使用简便，易于维护创新的热冷分离设计将导致发热关键部件及其温度与泵的其余部分隔离开来。这不但延长了电子元器件的使用寿命，还可使您得到更长的维护周期。 ***的真空泵监控系统 Airlogic® 监控系统可帮助您获取真空泵日常管理的信息更新，包括警报、安全关闭和维护。创新的电机设计 ***的螺杆技术和内置

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