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主动隔震技术对于精密行业起到的作用是什么

作者：主动隔震浏览：发表时间：2018-11-23 08:54:52 来源：主动隔震

　　随着科学技术的快速发展，高精密仪器设备不断涌现。高科技设备诸如激光、光学仪器和集成电路生产设备在制造、测量各种精密仪器时，对周围工作环境中的各种微震动十分敏感并且其造价昂贵，因而有必要对设备周围的微震动干扰进行隔离和控制。而对这方面最有效果的应该是主动隔震技术，福州法拉第学习国外先进的主动隔震技术，为中国企业用户带来更优质的服务。

　　近年来，主动隔震技术获得了迅速的发展。目前，主动隔震一般采用单层隔震系统或双层隔震系，而在双层隔震系统中，主动隔震执行器的安装方式对隔震系统的动力学特性有较大影响。隔震系统的确立使机械震动系统有了进一步发展的潜力。

　　主动隔震以其高效的隔震效率广泛应用于舰船、发电机组、航空航天器等领域。在对有害震动进行减小和消除的方法中隔震技术备受人们重视。主动隔震是继被动隔震技术之后发展起来的一种目前在工程中被广泛使用的隔震技术。而支承刚度是所有隔震系统中一个非常重要的参数，它直接影响到隔震系统的隔震性能的好坏。

　　主动隔震系统应用越来越广泛，特别是在微制造技术快速发展的今天，超大规模集成芯片的生产，对设备的隔震提出了严格的要求。在对一般设备的隔震过程中，由于被动隔震装置结构简单，能很好地隔离高频震动，因此，大多采用被动隔震即可满足要求，但对于超精密隔震平台，由于隔震要求很高，采用被动隔震方法，将无法达到良好隔震的效果，特别是对低频区部分的震动消除比较困难，而采用主动隔震技术能够很好地解决这一问题。

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