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隔震系统在精密加工科学中的应用

作者：隔震系统 浏览： 发表时间：2017-12-08 09:32:06

    在超精密加工、测试过程中，环境及设备的振动对加工精度和测试结果有很大的影响。隔振系统是实现超精密加工、检测、定位的关键设备。如何有效提高其隔振效果是相关领域研究人员普遍关心的问题。目前，研究主要集中在对隔振系统控制方法的改进上，多种控制方法已应用于超精密隔振平台的控制中。而随着精密设备的快速发展,对其隔振系统的要求也越来越高。隔振系统也越来越显示出其重要性。许多精密设备所达到的分辨力被周围环境的振动所限制,没有一个好的隔振系统任何超精密动作都是难于实现的。

    精密与微细加工的质量不仅与振动干扰的振幅有关，而且与振动频率有关。一般情况下，对精密和微细加工构成威胁的振动频率为 0 .5～ 70 Hz之间的低频振动。目前，在高精领域普遍采用隔振系统进行振动的隔离。隔振系统采用负刚度机构在平衡点某一领域内抵消了弹性元件的部分正刚度，使隔振系统刚度呈现非线性，从而使得隔振系统总刚度趋向于零。经过设计，隔振系统具有高的支撑刚度和很低的运动刚度。在隔振系统中，可通过调节负刚度机构两端的受力情况来降低其固有频率。

    随着微制造技术和精密测量技术的飞速发展，隔振系统已成为一个十分重要的研究课题。在设计隔振系统时，需要考虑的环境振动干扰十分复杂，不仅有地面传来的振动，即基础干扰，还有台面仪器设备的运动干扰，即直接干扰。多方面的原因影响需要我们在设计隔振系统时，要考虑全面细致。

    隔振系统是把机械安装在合适的弹性装置上以隔离机械振动传播的措施。依振源的不同有两种性质不同的隔振措施。如果机械本身是振源，应使它与支承隔离，以减少对周围的影响，这称为主动隔振。如振源来自支承的运动，为减少外界振动对机械的影响，须使支承与机械隔离，这称为被动隔振。需要考虑振动原因来设计隔振系统。

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隔震系统在精密加工科学中的应用
在超精密加工、测试过程中，环境及设备的振动对加工精度和测试结果有很大的影响。隔振系统是实现超精密加工、检测、定位的关键设备。如何有效提高其隔振效果是相关领域研究人员普遍关心的问题。目前，研究主要集中在对隔振系统控制方法的改进上，多种控制方法已应用于超精密隔振平台的控制中。而随着精密设备的快速发展,对其隔振系统的要求也越来越高。隔振系统也越来越显示出其重要性。
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