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INFICON英福康潘宁真空计PEG100

INFICON英福康潘宁真空计PEG100
INFICON潘宁真空计PEG100提供可靠的高真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器无可烧坏的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后降低的高压, 真空计还可运行于溅射的应用中. 除对数模拟输出讯号外, Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet协议, 容易地集成于真空系统中.

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INFICON英福康潘宁真空计PEG100
INFICON潘宁真空计PEG100提供可靠的高真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器无可烧坏的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后降低的高压, 真空计还可运行于溅射的应用中. 除对数模拟输出讯号外, Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet协议, 容易地集成于真空系统中.
益处
测量范围广,从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
全金属冷阴极传感器(潘宁),带陶瓷馈入装置
创新的电极几何形状提供卓越的点火属性
等离子点火后降低的高压和钛阴极板可减少污染危险,即使在有氩气的溅射运行中
阳极环和钛阴极可轻松进行清洁或更换
最小化真空计附近的磁场强度
用于电源接通和等离子体点火的 LED 指示器
对数模拟输出信号
现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用
高真空压力监控
蒸发溅射系统
高真空范围内的一般真空测量和控制

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